能提供直線運動的壓電電機有很多種,其中應(yīng)用最廣泛的是直線步進壓電電機。這些裝置利用幾個壓電元件的協(xié)調(diào)運動,以高分辨率和非常高的剛性產(chǎn)生幾乎無限的行程。
線性壓電電機是如何工作的?
在線性步進器設(shè)計中,多個壓電元件成排安裝,并作為成對的腿。當(dāng)施加電壓時,壓電元件將經(jīng)歷兩種運動:長度膨脹(或收縮)和橫向彎曲。直線步進壓電電機同步壓電元件的運動,產(chǎn)生行走運動。通過將元件安裝在縱向桿或滑輪上,這可以轉(zhuǎn)化為有用的線性行程。當(dāng)組件被激活時,一對腿通過摩擦抓住桿,隨著腿的伸展和彎曲向前移動,然后當(dāng)下一對腿接管時釋放它。每個壓電元件每周期僅移動幾微米,但是線性步進壓電電機以幾千赫茲的頻率工作,每秒可以執(zhí)行幾千個步驟,這使得它們能夠產(chǎn)生更長的沖程并實現(xiàn)高速。
線性壓電電機的性能特性:
由于直線步進壓電電機利用摩擦力移動驅(qū)動桿或轉(zhuǎn)輪,不需要機械元件,也沒有背隙,因此可以實現(xiàn)納米級(有時甚至皮米級)的分辨率。多個壓電元件的使用為線性步進器提供了非常好的剛性和高保持力,這使得它在斷電時自鎖。
線性步進器設(shè)計可以以非常慢或非??斓乃俣冗\行,最大速度為15毫米/秒。盡管可以無限移動,但驅(qū)動桿或滑輪的長度決定了行程,通常在幾厘米的范圍內(nèi),盡管在一些設(shè)計中可以提供最大10厘米的行程。像其他壓電電機一樣,線性步進電機是非磁性的,因此它們可以用于有磁場的應(yīng)用中,并且它們本質(zhì)上是真空兼容的。
線性壓電電機的應(yīng)用:
線性步進設(shè)計的行走運動使其成為需要長行程的壓電應(yīng)用的最佳選擇。這與它們的無間隙運動相結(jié)合,為它們在掃描和顯微鏡應(yīng)用以及半導(dǎo)體光刻設(shè)備中驅(qū)動線性平臺提供了理想的特性。由于其高分辨率,線性步進壓電電機可用于醫(yī)療設(shè)備或樣本的納升分配和定位。