MEMS微壓差傳感器的核心部分是采用MEMS技術加工而成的壓阻式壓力傳感芯片。壓力傳感芯片由一個彈性膜片和四個集成在膜片中的電阻器組成。四個壓電電阻形成一個惠斯通電橋結構。
當彈性膜片受到壓力時，惠斯通電橋?qū)⑤敵鲆粋€線性比例的電壓信號，壓力開啟。沒有壓力變化，就沒有輸出，因此消耗的功率更少。
MEMS微壓差傳感器集成壓力傳感元件和數(shù)字調(diào)理芯片，對漂移、靈敏度、線性參數(shù)進行數(shù)字補償。該微壓差傳感器依靠電壓供電，輸出經(jīng)過校準和補償?shù)臉藴孰妷盒盘?。適用于非腐蝕性純氣體的壓力測量。MEMS系列微壓差傳感器基于MEMS技術和SOP、DIP、COB封裝等，專為非腐蝕性純氣體的壓力測量而設計。
MEMS微壓差傳感器憑借體積小、成本低等特點，廣泛應用于生物醫(yī)學、汽車電子等領域。
醫(yī)療領域，如電子血壓計、呼吸機、制氧設備、病人監(jiān)護儀等。
用于汽車電子領域，如胎壓計、制動助力器、動力轉(zhuǎn)向、MAP傳感器等。
小家電領域，如熱水器、洗碗機、凈水器、小保鮮盒等。
可穿戴設備領域，如智能手環(huán)、手表等。
用于健身器材領域，如按摩器、按摩椅、氣墊床等。
其他領域，如真空泵、真空發(fā)生器、壓縮機、壓力表等。
