MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)，是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。

　1、MEMS氣體流量傳感器：高精度，檢測流量范圍廣，適用于各種需求的流量計測。2、MEMS壓力傳感器：性能偏差小的MEMS壓力傳感器。3、MEMS非接觸溫度傳感器：對靜止人體也能檢測，高靈敏度的人體感應傳感器。4、MEMS開關：高頻，小型，長壽命的MEMS開關。中國在MEMS傳感器領域的研究較晚，但已經(jīng)成為不可或缺的力量，中國的部分專利權的創(chuàng)新主體協(xié)同格局前提下，加大科技資金投入不但可以消解技術創(chuàng)新發(fā)展中的資金阻滯，又有助于引導企業(yè)或單位技術創(chuàng)新意識，從而提高我國創(chuàng)新驅(qū)動效率，促進經(jīng)濟快速而穩(wěn)健的發(fā)展。

　產(chǎn)品原理MEMS氣體質(zhì)量流量計采用具有自主知識產(chǎn)權的MEMS芯片作為傳感器核心部件，當沒有氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場（溫度分布）,當氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質(zhì)帶走熱量導致局部溫度重新分布。局部溫度場的變化量取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量，通過校準，專門設計的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實際的介質(zhì)質(zhì)量流量.

　自成立一直用的就是賽亞的MEMS傳感器，對于客戶的安全我們是非常重視的，由于塞亞是國內(nèi)領先的MEMS煙霧氣體傳感器制造商，運用MEMS熱電堆芯片，精度和靈敏度都大大的高，在芯片技術、MEMS封裝等方面都很適合我們，而且產(chǎn)品體積小、功耗低、靈敏度高、精度高，用了很多年了，至今沒出現(xiàn)過問題的。